• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    本發明提供一種拋光裝置，用於拋光一工件，工件具有一平面之待拋光面。拋光裝置包括一承靠座、一橫向驅動裝置、一具有第一轉軸之拋光片座、一座體驅動裝置、複數圍繞第一轉軸連接至拋光片座之驅動裝置及複數具有不同粗糙度之圓柱狀拋光片。承靠座用於承靠工件且待拋光面背對承靠座。各拋光片具有平行於第一轉軸之第二轉軸。座體驅動裝置用於驅動拋光片座繞第一轉軸旋轉以使複數拋光片輪流與待拋光面接觸。各驅動裝置用於驅動拋光片繞其第二轉軸旋轉以進行拋光。橫向驅動裝置用於驅動拋光片座沿垂直於第一轉軸之方向在待拋光面上移動。
    公开号:TW201302383A
    申请号:TW100123970
    申请日:2011-07-07
    公开日:2013-01-16
    发明作者:shao-kai Pei
    申请人:Hon Hai Prec Ind Co Ltd；
    IPC主号:B24B27-00
    专利说明:
    拋光裝置
    本發明涉及一種拋光裝置。
    玻璃片經研磨後一般還需進行拋光。為了達到較佳之拋光效果，隨著拋光過程中玻璃片表面粗糙度之變化，通常需要在玻璃片表面之粗糙度處於不同階段時更換不同粗糙度之拋光片。先前之拋光裝置通常只能安裝一拋光片，在所拋光之玻璃片需要另一種粗糙度之拋光片時，通常需要重新安裝另一種粗糙度之拋光片，或者將玻璃片搬運到另一具有對應粗糙度之拋光片之拋光裝置上進行拋光。然而，重新安裝拋光片或搬運玻璃片之過程都非常繁瑣、耗時，導致拋光效率低下。
    有鑒於此，有必要提供一種高效之拋光裝置。
    一種拋光裝置，用於拋光一工件，該工件具有一平面之待拋光面；拋光裝置包括一支架、一用於承靠工件之承靠座、一連接至支架之橫向驅動裝置、一連接至橫向驅動裝置並且具有一第一轉軸之拋光片座、一連接至橫向驅動裝置及拋光片座之座體驅動裝置、複數連接至拋光片座並且圍繞第一轉軸排布之拋光驅動裝置及複數具有不同粗糙度之圓柱狀拋光片。待拋光面背對承靠座，第一轉軸平行於待拋光面，各拋光片具有一平行於第一轉軸之第二轉軸。座體驅動裝置用於驅動拋光片座繞第一轉軸旋轉，以使複數拋光片輪流與待拋光面接觸。各驅動裝置用於在對應一拋光片與待拋光面接觸時驅動該拋光片繞其第二轉軸旋轉以進行拋光。橫向驅動裝置用於驅動拋光片座沿垂直於第一轉軸之方向在該待拋光面上移動。
    與先前技術相比，本發明之拋光裝置上安裝了複數不同粗糙度之拋光片，該複數不同粗糙度之拋光片在座體驅動裝置之驅動下便可交替對待拋光面進行拋光，提高了拋光效率。
    下面將結合附圖，舉以下較佳實施方式並配合圖式詳細描述如下。
    請參考圖1至圖3，本發明較佳實施方式之拋光裝置11用於拋光複數工件22。各工件22具有一待拋光面22a，待拋光面22a為平面。拋光裝置11包括一支架10、至少一承靠座20、一橫向驅動裝置30、一豎向驅動裝置40、一拋光片座50、複數拋光驅動裝置60、複數拋光片70、一座體驅動裝置80及複數噴嘴90。
    支架10包括一底座100及兩個固定框101。底座100大致呈長方體狀，包括一長方形之承載板102、一清洗槽104及複數凸起108。承載板102上沿其長度方向開設有複數清洗口106，各清洗口106連通至清洗槽104。每兩個凸起108設置在承載板102相對之兩個長邊上，並且位於相鄰兩個清洗口106之間，各凸起108上開設有一安裝孔110。各固定框101大致呈方形，分別固定至底座100之兩個長邊而設置在底座100相對兩側。各固定框101包括一平行於承載板102之安裝板103及兩個垂直連接至安裝板103相對兩側承靠板105。
    各承靠座20包括一載板200及一載板驅動裝置201。載板200包括一大致呈方形之板體203及一第一轉軸204。板體203上開設有一與工件22之形狀匹配之固定凹槽202。第一轉軸204設置在板體203一側，並且其長度大於相對設置之兩個凸起108之間之距離。載板驅動裝置201連接至對應之一載板200，用於驅動板體203繞第一轉軸204轉動。
    橫向驅動裝置30包括一呈條狀之定子300及一動子302。動子302滑動設置在定子300上，並且可在定子300驅動下而沿定子300運動。在本實施方式中，橫向驅動裝置30為一線性馬達。
    豎向驅動裝置40包括一豎向馬達400及兩個轉動板401。豎向馬達400包括一第一本體402及一第二轉軸404，第一本體402大致呈圓管狀，第二轉軸404上沿其軸向開設有一凸條406，第二轉軸404沿其軸向貫穿第一本體402並延伸至第一本體402軸向上之相對兩側之外。兩個轉動板401相對設置，各轉動板401包括一大致呈長方形之轉板體403、一圓環405及一凸塊407。圓環405自轉板體403面向另一轉動板401之表面上之一側垂直向外延伸，圓環405之內壁開設有與凸條406對應之凹槽409，凸塊407自轉板體403未設置圓環405一側之一角落上傾斜向外延伸，凸塊407上開設有一通孔411。兩個圓環405包覆第二轉軸404之兩側，從而使轉動板401連接至豎向馬達400。兩個轉動板401籍由凸條406與凹槽409之卡合而保持對稱。
    拋光片座50包括一圓形第一夾板500及一第二夾板501。第一夾板500包括一安裝通孔502及四個第一安裝槽504。安裝通孔502設置在第一夾板500之中心上，四個第一安裝槽504以安裝通孔502為圓心均勻分佈。第二夾板501包括一連接軸503及四個第二安裝槽505。連接軸503沿第二夾板501之軸向垂直向外延伸，第二安裝槽505以第二夾板501之轉軸為圓心均勻分佈。連接軸503與四個第二安裝槽505分別設置在第二夾板501相背之兩個表面上。第一安裝槽504與第二安裝槽505之位置相互對應。
    各拋光驅動裝置60包括一第二本體600及一自第二本體600向外延伸之第三轉軸602，第三轉軸602由第二本體600驅動旋轉。第二本體600之形狀與第一安裝槽504匹配。
    各拋光片70大致呈圓柱狀，其包括一用於拋光工件之側面700、一自該拋光片70之頂面垂直向外延伸之第四轉軸702及一開設在該拋光片70之底面之安裝孔704，第四轉軸702及安裝孔704位於拋光片70之轉軸上。各拋光片70之側面700之粗糙度不同。
    座體驅動裝置80包括一第三本體800及一自第三本體800向外延伸之第五轉軸802，第五轉軸802由第三本體800驅動旋轉。第五轉軸802與通孔411對應。
    安裝時，將第一轉軸204插入對應之兩個安裝孔110，載板驅動裝置201固定至承載板102上並連接至第一轉軸204，以驅動載板200繞第一轉軸204轉動，固定凹槽202背對清洗口106。定子300籍由焊接或螺合等方式固定至各固定框101之兩個承靠板105，並且定子300與承載板102之長度方向平行，動子302面向承載板102。第一本體402固定至動子302，並使得第二轉軸404與定子300延伸之方向相互垂直。如此，豎向驅動裝置40固定至橫向驅動裝置30，轉動板401可在豎向馬達400之驅動下轉動而使得凸塊407靠近或遠離承載板102。將第三本體800固定至一轉動板401，並使第五轉軸802穿過對應之通孔411。將各第二本體600固定至對應之第一安裝槽504。各安裝孔704連接至對應之一第三轉軸602，第四轉軸702連接至對應之一第二安裝槽505。將安裝通孔502連接至第五轉軸802，將連接軸503連接至通孔411。如此，拋光片70在軸向也與定子300延伸之方向相互垂直，各拋光片70可在對應之拋光驅動裝置60之驅動下繞穿過第四轉軸702及安裝孔704之軸線旋轉，拋光片座50可在拋光驅動裝置60之驅動下繞穿過連接軸503及安裝通孔502之軸線旋轉。噴嘴90固定至安裝板103並連接至一拋光液源，用於向對應之一工件噴出拋光液。
    工作時，籍由清洗口106向清洗槽104內注滿水。將工件22固定至對應之固定凹槽202。此時定子300面向工件22之表面平行於待拋光面22a。座體驅動裝置80驅動粗糙度最大之一拋光片70移動至最靠近工件22之位置。豎向馬達400驅動轉動板401旋轉而帶動拋光片座50向工件22移動，並使粗糙度最大之拋光片70與待拋光面22a接觸。與粗糙度最大之拋光片70對應之拋光驅動裝置60驅動拋光片70旋轉，噴嘴90向待拋光面22a噴出拋光液，以對待拋光面22a進行拋光。同時，橫向驅動裝置30驅動拋光片70沿定子300移動，以對各工件22之整個待拋光面22a進行拋光。經過預定之時間間隔，座體驅動裝置80驅動粗糙度逐漸變小之拋光片70對工件進行拋光。拋光結束後，載板驅動裝置201驅動板體203繞第一轉軸204旋轉至相鄰之清洗口106中，以清洗工件22。如此，轉動拋光片座50便可輕鬆更換不同粗糙度之拋光片70，提高了拋光效率。
    可以理解，在各拋光片50之直徑不同之情況下，為了保持各拋光片50轉動至最靠近工件22之位置時均能與待拋光面22a接觸，第一安裝槽504不以安裝通孔502為圓心均勻分佈。對應地，第二安裝槽505不以連接軸503圓心均勻分佈。
    在拋光片70最靠近待拋光面22a之表面與待拋光面22a位於同個平面上時，僅由橫向驅動裝置30驅動拋光片70移動，也可實現對複數工件22進行拋光。因此，可以理解，豎向驅動裝置40也可以不必設置。
    本技術領域之普通技術人員應當認識到，以上之實施方式僅係用來說明本發明，而並非用作為對本發明之限定，只要在本發明之實質精神範圍之內，對以上實施例所作之適當改變和變化都落在本發明要求保護之範圍之內。
    11．．．拋光裝置
    22．．．工件
    22a．．．待拋光面
    10．．．支架
    20．．．承靠座
    30．．．橫向驅動裝置
    40．．．豎向驅動裝置
    50．．．拋光片座
    60．．．拋光驅動裝置
    70．．．拋光片
    80．．．座體驅動裝置
    90．．．噴嘴
    100．．．底座
    101．．．固定框
    102．．．承載板
    104．．．清洗槽
    108．．．凸起
    106．．．清洗口
    110．．．安裝孔
    103．．．安裝板
    105．．．承靠板
    200．．．載板
    201．．．載板驅動裝置
    202．．．固定凹槽
    203．．．板體
    204．．．第一轉軸
    300．．．定子
    302．．．動子
    400．．．豎向馬達
    401．．．轉動板
    402．．．第一本體
    404．．．第二轉軸
    406．．．凸條
    403．．．轉板體
    405．．．圓環
    407．．．凸塊
    409．．．凹槽
    411．．．通孔
    500．．．第一夾板
    501．．．第二夾板
    502．．．安裝通孔
    504．．．第一安裝槽
    503．．．連接軸
    505．．．第二安裝槽
    600．．．第二本體
    602．．．第三轉軸
    700．．．側面
    702．．．第四轉軸
    704．．．安裝孔
    800．．．第三本體
    802．．．第五轉軸
    圖1為本發明較佳實施方式之拋光裝置之示意圖。
    圖2為圖1之拋光裝置之部分分解示意圖。
    圖3為圖1之拋光裝置之拋光片、拋光片座及拋光驅動裝置之分解示意圖。
    11．．．拋光裝置
    22．．．工件
    22a．．．待拋光面
    10．．．支架
    20．．．承靠座
    30．．．橫向驅動裝置
    40．．．豎向驅動裝置
    50．．．拋光片座
    90．．．噴嘴
    100．．．底座
    101．．．固定框
    权利要求:
    Claims (7)
    [1] 一種拋光裝置，用於拋光一工件，該工件具有一平面之待拋光面；該拋光裝置包括一支架及一用於承靠工件之第一承靠座，該待拋光面背對該第一承靠座；其特徵在於，該拋光裝置還包括：一連接至支架之橫向驅動裝置；一連接至該橫向驅動裝置並且具有一第一轉軸之拋光片座，該第一轉軸平行於待拋光面；一連接至該橫向驅動裝置及該拋光片座之座體驅動裝置；複數連接至該拋光片座並且圍繞該第一轉軸排布之拋光驅動裝置；及複數具有不同粗糙度之圓柱狀拋光片，各拋光片具有一平行於該第一轉軸之第二轉軸；該座體驅動裝置用於驅動該拋光片座繞該第一轉軸旋轉，以使該複數拋光片輪流與該待拋光面接觸；各驅動裝置用於在對應一拋光片與該待拋光面接觸時驅動該拋光片繞其第二轉軸旋轉以進行拋光；該橫向驅動裝置用於驅動該拋光片座沿垂直於該第一轉軸之方向在該該待拋光面上移動。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述之拋光裝置，其中，各第二轉軸與該第一轉軸之間之距離相等。
    [3] 如申請專利範圍第1項所述之拋光裝置，其中，拋光裝置還包括至少一用於承靠工件之第二承靠座，該第一承靠座及該至少一第二承靠座沿垂直於該第一轉軸之方向設置。
    [4] 如申請專利範圍第1項所述之拋光裝置，其中，該拋光裝置還包括一豎向驅動裝置，該拋光片座籍由該豎向驅動裝置連接至該橫向驅動裝置，該豎向驅動裝置用於驅動該複數拋光片靠近或遠離待拋光面。
    [5] 如申請專利範圍第4項所述之拋光裝置，其中，該豎向驅動裝置包括一豎向馬達及兩個轉動板，該豎向馬達包括一連接至該橫向驅動裝置之第一本體及一自該第一本體向外延伸之第二轉軸，該第二轉軸之兩端延伸至該第一本體之外，該兩個轉動板連接至該第二轉軸兩端並在該豎向馬達之驅動下繞該第二轉軸旋轉，該拋光片座連接至該兩個轉動板之間，該第二轉軸及該拋光片座位於該兩個轉動板之間相對之兩側。
    [6] 如申請專利範圍第5項所述之拋光裝置，其中，各轉動板包括一圓環，各圓環用於包覆該第二轉軸之一端從而使各轉動板連接至該第二轉軸，各圓環內壁沿其軸向開設有一凹槽，該第二轉軸沿其軸向開設有一與該凹槽對應之凸條，該凸條容置於該凹槽中。
    [7] 如申請專利範圍第1項所述之拋光裝置，其中，支架包括一底座，該底座開設有一清洗槽並包括一承載板及複數凸起，該承載板沿垂直於該第一轉軸之方向開設有複數清洗口，各清洗口連通至該清洗槽，每兩個凸起相對設置並位於垂直於該第一轉軸之方向之兩側，各凸起開設有一安裝孔；該承靠座包括一載板及一載板驅動裝置，該載板包括一板體及一第三轉軸，該板體上開設有一與工件形狀匹配之固定凹槽，該第三轉軸設置在該板體一側，第三轉軸連接至對應之兩個安裝孔，該載板驅動裝置連接至對應之一第三轉軸，用於驅動該板體繞該第三轉軸轉動至清洗口中。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    TWI542443B|2016-07-21|拋光裝置
    JP3549141B2|2004-08-04|基板処理装置および基板保持装置
    CN102019576B|2014-01-15|弧面研磨装置
    US8602847B2|2013-12-10|Cylindrical grinding and polishing device
    JP2013171918A|2013-09-02|基板回転保持装置および基板処理装置
    TWI443732B|2014-07-01|化學機械研磨後晶圓清洗裝置
    CN103302587A|2013-09-18|化学机械研磨装置及系统
    WO2012171298A1|2012-12-20|用于晶圆的刷洗装置
    JP2008027959A|2008-02-07|ウエハ洗浄装置
    US8251779B2|2012-08-28|Grinding device with cleaning assembly
    JP4963411B2|2012-06-27|半導体装置または半導体ウェハの製造方法
    CN111048442A|2020-04-21|基板清洗部件及基板清洗装置
    JP6349131B2|2018-06-27|洗浄装置
    US8277289B2|2012-10-02|Multi-functional grinding apparatus
    TWI744988B|2021-11-01|清洗及蝕刻裝置
    JP2012182507A|2012-09-20|基板洗浄装置
    JP2006332386A|2006-12-07|基板洗浄装置及び基板洗浄方法
    TWM482475U|2014-07-21|打磨裝置
    KR20130093901A|2013-08-23|반도체 기판 연마용 가공 장치
    KR100924943B1|2009-11-05|브러시 세정 유닛과, 이를 구비한 기판 세정 장치
    CN102862103A|2013-01-09|抛光装置
    JP3196861U|2015-04-09|放水駆動型基板回転治具
    KR20130093898A|2013-08-23|반도체 기판 연마용 가공 장치
    KR101620825B1|2016-05-16|대면적 기판 처리챔버의 기판 지지장치
    JP2008168214A|2008-07-24|ディスク洗浄ブラシ、ディスク洗浄機構およびディスク洗浄装置
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    US20130012109A1|2013-01-10|
    TWI542443B|2016-07-21|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    TWI644761B|2017-05-29|2018-12-21|南韓商大圓應用工程公司|能夠容易更換平行且對置地安裝的兩個砥石的連續壓縮線彈簧研磨裝置|US2006953A|1933-08-03|1935-07-02|Klos Adam|Shoe finishing machine|
    US2437850A|1947-06-13|1948-03-16|William O Dennis|Grinding apparatus|
    US2748540A|1954-03-31|1956-06-05|George Alfred J St|Multiple wheel grinding machine|
    DE1115611B|1957-12-23|1961-10-19|Hans Hauschild|Schleif- und Poliermaschine|
    DE2652025C2|1975-12-10|1987-02-26|Esco S.A., Geneveys-Sur-Coffrane, Ch||
    JPS59191246U|1983-06-02|1984-12-19|||
    US5220749A|1991-11-07|1993-06-22|The University Of Rochester|Grinding apparatus|
    US6071183A|1997-08-06|2000-06-06|Havins; William H.|Abrading machine with indexing tool carrier|
    US6390900B1|1998-08-19|2002-05-21|Thermwood Corporation|Finishing tool for CNC router machines|
    JP3844420B2|2000-09-04|2006-11-15|株式会社牧野フライス製作所|マシニングセンタ及びその工具交換方法|
    US7052379B2|2002-12-27|2006-05-30|General Electric Company|Methods and apparatus for machining a coupling|TWI409135B|2010-07-23|2013-09-21|Hon Hai Prec Ind Co Ltd|滾圓及研磨設備|
    TWI534110B|2011-12-27|2016-05-21|鴻海精密工業股份有限公司|玻璃切割裝置|
    CN108838856A|2018-06-26|2018-11-20|李荣旭|一种操作方便的飞行器框架加工用抛光设备及抛光方法|
    法律状态:
    2018-04-21| MM4A| Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    TW100123970A|TWI542443B|2011-07-07|2011-07-07|拋光裝置|TW100123970A| TWI542443B|2011-07-07|2011-07-07|拋光裝置|
    US13/310,717| US20130012109A1|2011-07-07|2011-12-03|Polishing device|
    [返回顶部]